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滑皮膜技能及運(yùn)用解析
來源:海力軸承網(wǎng) 時(shí)間:2017-10-25
精工開發(fā)的一種名為“E-DFO”的光滑皮膜技能；具有皮膜耐用性高且不易污染真空環(huán)境的特色.該技能首要用于加工在滾珠絲杠（Ball Screw）和滾動(dòng)軸承的球形軌跡面上由光滑油和吸著物構(gòu)成的光滑皮膜.與本來的“V-DFO”技能比較；皮膜耐用性可最大進(jìn)步至20倍；并且還可將對(duì)真空環(huán)境的污染削減至一半以下.該公司將于2005年9月上市選用該技能的真空設(shè)備用的滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌副（Linear Guide）和滾動(dòng)軸承.
E-DFO技能運(yùn)用的光滑油具有分子量小、蒸氣壓比氟油更低的特色.因而；蒸騰速度較慢；只要氟油的約1/1000.別的；作為吸著物運(yùn)用的片狀PTFE（聚四氟乙烯）粉末在光滑劑上的吸著面積較大.因而；光滑皮膜的吸著才能更強(qiáng)；皮膜的堅(jiān)持強(qiáng)度更大.經(jīng)過選用上述資料；延長(zhǎng)了皮膜的壽數(shù)；削減了有機(jī)資料的氣體生產(chǎn)量.
該技能首要面向晶圓檢測(cè)設(shè)備、光丈量設(shè)備、皮膜設(shè)備、真空干與丈量?jī)x及鏡頭檢測(cè)設(shè)備等.
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